本文看点

• 高功率密度器件的热管理正在逼近传统制造工艺的物理上限,微通道液冷成为关键解法。

• 纯铜具备优异导热性能,但传统红外激光难以稳定打印;绿光激光的引入从根本上改变了这一局面。

• 我司与联藕科技联合开发的纯铜微通道液冷板,在通道精度、致密度和散热效率上实现了关键突破。

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热管理的临界点:

为什么微通道液冷变得不可或缺

Part.1

随着半导体、功率电子、激光设备和新能源汽车的功率密度持续攀升,传统散热方式正在逼近其物理极限。当单芯片逻辑核心热流密度超过100 W/cm²时,风冷和常规液冷已无法维持结温在可靠区间,微通道液冷(Microchannel Liquid Cooling)成为行业公认的关键路径。

图1 核心部件:液冷板 / 散热器,占液冷系统的30%-40%价值

微通道液冷板的核心逻辑并不复杂:在有限面积内布置大量水力直径在亚毫米级的通道,通过增大换热面积、缩短热传导距离,实现极高的对流换热系数。但"不复杂"的原理背后,是极高的制造门槛——

通道越细,对成形精度和表面质量的要求越苛刻;流道越复杂,传统工艺越难以一体成形。

目前主流的微通道液冷板制造路线主要有三种:

• 机加工+钎焊/扩散焊精度可控,但流程长、封合风险高,复杂流道受限;

• 蚀刻+叠层:适合批量薄板,但层间热阻和密封可靠性是长期痛点;

• 金属增材制造可一体成形任意复杂流道,但材料选择和成形质量长期受限。

其中,增材制造路线最具想象空间,也最受材料瓶颈的制约——而铜,正是那个"理想但难打"的材料。

图2 NVIDA液冷模组示意图

522

绿光+纯铜:

从"难打"到"精打"的技术跃迁

Part.2

2.1

为什么纯铜是液冷板的理想材料打印

纯铜的室温热导率约为 401 W/(m·K),是铝合金的近两倍、不锈钢的十倍以上。对于液冷板而言,基板材料的热导率直接决定了从热源到冷却液的热传导效率——材料导热越好,温度梯度越小,均温性越佳。

此外,纯铜还具备优异的导电性、耐腐蚀性和可焊性,与半导体封装、功率模块的工艺兼容性远优于其他金属。可以说,纯铜是微通道液冷板的"最优解材料",但长期以来也是增材制造的"最难打材料"。

2.2

红外激光打铜的根本困境

铜在室温下对波长 1064 nm 左右的红外激光反射率极高(吸收率仅约 5%–10%),这意味着绝大多数激光能量被反射而非被材料吸收(如图3所示)。为了让铜粉熔化,不得不提高激光功率,但这又带来三个连锁问题:

• 熔池不稳定:高功率下熔池过热、飞溅严重,成形表面粗糙;

• 孔隙率偏高:匙孔效应不稳定,容易产生内部未熔合缺陷,直接降低导热和力学性能;

• 精细特征难成形:热影响区大,亚毫米级微通道的壁薄和尺寸精度难以控制。

行业内曾尝试通过优化扫描策略、使用铜合金等方式缓解,但都属于"在红外框架内打补丁",没有触及吸收率这个底层变量。

图3 铜对于不同波长的激光吸收率对比

2.3

绿光激光:从底层变量解决问题

绿光激光的波长约为 532 nm,处于铜的吸收峰附近。纯铜对绿光的吸收率可达约 40%,是红外光的 4–8 倍。这一物理特性的改变,带来了一系列工艺优势:

• 低功率即可稳定熔化:熔池更平稳,飞溅显著减少,表面粗糙度大幅降低;

• 致密度提升:稳定的熔池和匙孔意味着更低的孔隙率,致密度可达99.95%以上;

• 精细成形能力:热影响区更小,可以稳定成形壁厚0.15mm级别的薄壁和间隙0.1mm级别的微通道;

• 导热性能更接近锻态:致密度和微观组织的改善,使打印件热处理后热导率接近纯铜理论值。

绿光不是"更好的红外",而是让铜的增材制造从"能不能打"进入"打得精不精"的新阶段。

522

联合案例:海天增材×联藕科技 

纯铜微通道液冷板

Part.3

3.1

合作背景

联藕科技在高功率密度领域的热管理拥有深厚的系统集成经验和终端客户资源,其客户对液冷板的散热效率、均温性和可靠性提出了极高要求。传统工艺路线在面对异形流道、超薄壁厚以及集成化接口时已难以满足需求。

海天增材在绿光纯铜增材制造领域积累了完整的工艺参数包和质量控制体系,双方的能力恰好形成互补:联藕科技定义热管理需求与系统验证,海天增材负责材料工艺与打印制造,共同推进纯铜微通道液冷板从原型到量产的落地。

图4 海天增材×联藕科技 纯铜微通道液冷板

3.2

产品设计要点

本次联合开发的液冷板围绕以下设计目标展开:

• 高换热效率:采用拓扑优化、晶格结构、叠层交错微通道结构,流道间隙低至0.1 mm,在有限面积内最大化换热面积;

• 薄壁高精度:通道最薄壁厚0.15mm,尺寸公差控制在0.1mm以内;

• 克服热点:金刚石铜底板嫁接纯铜微通道克服芯片局部热点问题,提升散热效率;

• 一体成形:流道、进出口接口、安装面一体打印,消除钎焊焊缝带来的泄漏风险和额外热阻。

3.3

工艺路线

整个制造流程经过多轮迭代优化,关键环节包括:

1. 拓扑优化与流道仿真:基于目标热流密度和压降约束,使用 CFD 仿真优化流道布局,确保流量分配均匀、无局部滞流区;

2. 绿光纯铜打印:采用海天增材C400M绿光激光粉末床熔融设备,优化激光功率、扫描速度、层厚和扫描策略,实现高致密度成形;

3. 去粉与清道:针对微通道内残留铜粉,开发专用去粉工艺,确保通道通畅无堵塞;

4. 热处理与性能调控:通过自主开发的热处理工艺优化微观组织,进一步提升导热和力学性能;

5. 精加工与检测:关键安装面 CNC 精加工,100% 进行流量测试。

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性能表现:数据说话

Part.4

以下为本次联合开发液冷板的关键测试结果(测试工况:进口水温 40 ℃):

4.1

SPC 系列 · 器件级大功率冷板

向 CPU、IGBT、光模块等大热面场景|受热面积 43.8 cm²

4.2

SPG 系列 · 芯片级微通道冷板

面向GPU、英伟达RTX 5090 / GB200/300|受热面积 7.44 cm²

522

技术价值与应用前景

Part.5

5.1

相比传统工艺的核心优势

将绿光纯铜增材制造与传统液冷板工艺对比,优势体现在三个层面:

设计自由度:传统工艺受限于铣削刀具可达性和叠层结构,流道设计往往需要"为制造而妥协"。增材制造允许设计者从热管理最优出发,自由布局分叉流道、针肋阵列、渐变截面等复杂结构,真正实现"功能优先"的设计。

一体成形的可靠性:钎焊和扩散焊的封合界面始终是液冷板泄漏的高发区。一体打印消除了封合界面,从结构上根除了泄漏风险,同时避免了界面热阻,散热效率更优。

快速迭代与定制化:无需开模,从设计修改到打印验证仅需3周,特别适合研发阶段的快速迭代和小批量定制化需求。

5.2

目标应用领域

本次联合开发的纯铜微通道液冷板可广泛应用于:

• 数据中心与算力:AI 芯片、高性能计算的液冷冷板;

• 半导体设备:光刻、刻蚀、薄膜沉积等设备中的精密温控台、静电卡盘冷却;

• 功率电子:IGBT/SiC 功率模块、逆变器、电机控制器的高效散热;

• 激光与光学:高功率激光器、激光二极管阵列的热管理;

• 新能源汽车:电驱系统、OBC、DC-DC 等核心部件的散热。

 

来源:宁波海天增材https://mp.weixin.qq.com/s/yn0IKsDWzJI5zLu1s2hNYA



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作者 808, ab