
物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,简称PVD),是通过物理手段将固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子(等离子体),在真空空间输运到玻璃、金属、陶瓷、塑料或有机材料等固体材质(简称基材、基板或基片)表面并沉积成薄膜的方法,是当今先进的表面处理方式之一。
PVD 镀膜技术主要有真空蒸发镀膜、真空磁控溅射镀膜和真空离子镀膜三种主流技术:
➢ 真空蒸发镀膜,是指加热膜材使表面组分以原子团或分子团形式被蒸发出来,并沉降在基片表面形成薄膜。根据加热方法不同,蒸发镀膜又分为热蒸发和电子束蒸发;
➢ 真空磁控溅射镀膜,用高能等离子体轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并沉积在基片表面,经历成膜过程,最终形成薄膜。磁控溅射常用于多层薄膜的精细制备,如在高反射镜和滤光膜中的应用;
➢ 真空离子镀膜,在真空条件下,利用气体放电使工作气体或被蒸发物质(膜材)部分离化,在工作气体离子或被蒸发物质的离子轰击作用下,把蒸发物或其反应物沉积在被镀基片表面。

图 三种PVD技术对比,图源民生证券
利用真空镀膜技术镀制薄膜后,可使材料表面获得新的复合性能并实现新型的工程应用,赋予材料表面新的机械功能、装饰功能和声、电、光、磁及其转换等特殊功能(例如防辐射、增减透光、导电或绝缘、导磁、抗氧化、耐磨损耐高温耐腐蚀等),从而改善产品原有性能、提高产品质量、延长产品寿命等。
相较于传统电镀、化学镀等工艺,真空镀膜技术具有以下优势:
➢ 膜层与工件表面的结合力强,更加持久和耐磨;
➢ 使用的镀膜材料种类丰富,可镀膜层种类广;
➢ 膜层厚度更易控制;
➢ 适用范围更广;
➢ 在操作过程中更加节能、安全、环保等。
作为表面处理技术的一项重要分支,真空镀膜技术应用领域从基础的五金装饰到消费电子,从工模具到航空航天等都有广泛应用,已成为生产制造行业中重要的环节之一。
在消费电子领域,真空镀膜工艺可用于显示面板、消费电子产品结构件(中框、盖板等)、摄像头等产品的加工。
● 显示面板制造,玻璃基板要经过多次磁控溅射镀膜形成ITO玻璃,再经过镀膜覆盖,加工组装用于生产液晶显示器的显示面板;
● 3C结构件表面镀膜,增强硬度、耐磨、抗反射(AR)、抗指纹(AF)等属性,提升美观度、手感和功能性,主要应用于手机前后盖板、中框、摄像头保护盖板等;
● 光学镜头、镜头保护片镀膜,具有增透、反射、红外截止、防污、耐磨等属性,改善成像质量与耐用性,用于各类型镜头制作工艺;

图 真空镀膜工艺在手机上的应用,摄自汇成真空展台
广东汇成真空科技股份有限公司(HCVAC)致力于成为全球领先的高端真空应用解决方案提供商,聚焦磁控溅射、真空蒸发、ALD/PECVD、多弧离子镀等镀膜装备的研发和制造。产品类型包含单体机、连续线式、卷绕式及多腔体集成式,服务于光学及光电子、半导体、消费电子、汽车、新能源、科研院所、生物医疗、工模具等行业。
公司荣获“国家高新技术企业”“广东省工程技术研究中心”等称号,并于2024年6月成功在深圳证券交易所创业板挂牌上市。
12月19日,由艾邦智造举办的第十届手机产业创新技术论坛将在深圳召开。届时,广东汇成真空 光电研发总监 何晓虎先生 将作为演讲嘉宾出席,分享主题《 消费电子精密光学PVD镀膜工艺解决方案 》,期待大家与会交流。

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